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    PECVD氦質譜檢漏

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    PECVD需要在高真空條件下工作, 由於 PECVD 結構複雜, 組成部分較多, 各組件通過各種法蘭接口連接, 當長時間運行或者周期性保養時可能造成接口或管路, 設備嚴密性不夠, 導致真空度抽不下來, 影響產品的質量, 香蕉视频网址科技91香蕉视频污版接入設備，通過負壓法來噴氦氣檢漏. 

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