常見檢漏方法及其適用場景

氣泡法（水檢法）：是最原始的檢漏方法。向工件充入高壓氣體後浸入水中，觀察氣泡產生情況。該方法成本低、操作簡單。這種方法能直接定位漏點，但靈敏度較低，通常隻能檢測到較大漏孔，且結果易受人為觀察影響，液體中的雜質也可能堵塞漏孔影響檢測結果，液體還可能對某些工件造成腐蝕。

壓力衰減法：通過向工件充入加壓氣體，監測壓力下降值判斷泄漏。該方法簡單、適用性廣，但靈敏度相對較低，精度受環境溫度變化影響較大，難以發現微小泄漏，常用於對泄漏率要求不嚴的工件檢測。

鹵素檢漏法：其核心設備是鹵素檢漏儀，鹵素檢漏儀是利用鹵素氣體在高溫時會分解產生正離子的性質而製成的檢測儀器。檢測速度快，但鹵素氣體可能對環境甚至人體有害。

氦質譜檢漏法：高精度檢漏的核心技術

在眾多檢漏方法中，氦質譜檢漏法因其超高靈敏度而居於核心地位，成為對密封性有苛刻要求領域的首選技術。氦質譜檢漏法以氦氣作為示蹤氣體。其核心設備是91香蕉视频污版，它基於質譜學原理工作：質譜檢漏儀通過其主要部件質譜室，使不同質量的氣體變成離子隨後在電場和磁場作用下發生偏轉。通過控製電磁場條件，使特定質荷比的氦離子被探測器接收，而其他離子不能進入狹縫而被擋板篩除，使其達不到收集極上去。檢漏時，如果用氦氣噴吹漏孔，當氦氣通過漏孔進入檢漏儀，檢漏儀中的指示儀表會立即靈敏地反應出來，以達到了檢漏的目的。

氦質譜檢漏法的靈敏度極高，最高可檢測到10^{-12} Pa·m³/s乃至10^{-13} Pa·m³/s量級的微小泄漏，比傳統方法高出幾個數量級。其響應速度快，結果可靠，能精確定量和定位漏孔。因此，它被廣泛應用於半導體製造、航空航天、核工業、新能源電池、精密醫療器械等對密封性有極端要求的領域。

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